大同特殊钢株式会社 (社长: 石黑 武) 开发出低反射率和耐久性俱佳的金属网格电极^*1黑化膜^*2用靶材^*3，作为高可靠型产品「β1」加入到「STARMESHTM｣产品系列之中，并已于4月份开始销售。
使用该产品溅射成膜的黑化膜可以将铜(Cu)导电膜的反射率抑制10％至20％。并且，针对汽车用电子产品的环境测试(温度85℃，湿度85％，1000小时)结果，该黑化膜没有出现导电性和颜色的变化^*4。因此，相比于通常黑化膜的铜氧化物(CuO)，可以适用于较苛刻的环境以并延长适用产品的寿命。
还有，本产品是不使用铟(In)等稀有金属的金属靶材，与用于触摸屏透明导电膜的陶瓷基ITO(氧化铟锡)^*5相比，可以降低生产成本。此外，凭借本会社的特殊熔炼技术,可将使用后的靶材进行循环利用,贡献于可持续发展的社会。
我们的目标是将金属网格电极用靶材扩展到需求看好的车载触摸屏及电子黑板等大型触摸屏市场。

1．背景

智能手机等的触摸屏透明电极上通常使用陶瓷基的ITO。ITO是透明且导电的材料，但其导电性劣于金属(Cu等)。因此，如果将导电性较差的ITO用于大型触摸屏的传感器电极，则存在无法维持检测精度的问题。
而且，ITO的弯曲适应性较差，因此不适合用于曲面式及折叠式触摸屏。装饰性和功能性要求趋高的新一代汽车驾驶舱所需求的是导电性优异并适应弯曲的触摸屏。
因此，金属网格电极正在取代ITO电极不断得到普及。主要用于金属网格电极的铜导电膜具有金属光泽,其反射眩光影响可视性，需要在金属导电膜上层叠黑化膜来抑制反射。
此外，电子黑板等大型显示装置以及趋于大屏幕化的车载触摸屏, 与智能手机相比, 更换期间及使用年数较长, 所以更加要求具有较长的使用寿命。然而，常规的铜氧化物黑化膜在长时间暴露于苛刻环境时具有变色的问题。一旦变色，触摸屏的可视性会变差, 所以需要更可靠的黑化膜。

2．特长

• 低反射率：所形成的黑化膜可以将铜（Cu）导电膜的反射率抑制10％至20％。
• 高可靠性：该黑化膜经环境测试(温度85℃，湿度85%，1000小时)后也没有出现变色和导电性变化。
• 不使用稀有金属，易于回收利用的金属靶材
• 可以通过与ITO相同的工艺(溅射方法)进行成膜

3．用途

触摸屏: 大型触摸屏, 曲面触控屏
其他用途: 5G的透明天线，5G的透明噪声屏蔽，光学传感器的透明加热器等

4．用语说明

＊1 金属网格电极

这是一种以几微米宽的网格状金属来代替以往的ITO, 用作触摸屏输入检测等的透明导电薄膜的技术。

＊2 黑化膜

层叠在导电膜上来降低可见光反射率的薄膜。

＊3 靶材

利用溅射法,以原子形式使金属和合金及金属氧化物等的物质附着到对象电子基板上, 形成薄膜的材料。

＊4 颜色变化

由环境测试前后的L * a * b *颜色空间来计算出色差（ΔE* ab），并进行比较。以测试前的值为0，值越小，颜色变化越少。

＊5 ITO

透明导电膜、氧化铟锡(锡掺杂氧化铟)(Indium Tin Oxide)的缩写

以上